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環境への取り組み

ユナイテッド・セミコンダクター・ジャパン(USJC)は、「社会への貢献」、「自らの事業活動」を通じて環境負荷低減に取り組んでいます。

温室効果ガスや廃棄物削減などの活動を進める一方で、清掃活動など地域と交流しながら環境貢献活動も展開しています。

旋回流誘引型成層空調システム「SWIT®(Swirling Induction Type HVAC system)」

当社は、世界初、半導体製造ライン(前工程)に旋回流誘引型成層空調を採用しています。

「SWIT」とは、クリーンルーム内で温度成層を形成し、機器などの発熱体から発生する熱上昇流とともに浮遊微粒子を室上部へと搬送するシステムです。

「SWIT」の特徴

  • ・室内下方の作業域では清浄度が効率的に高まるため、従来方式と比較して給気風量の削減が可能。
  • ・給気温度を高く設定することができるため、冷水温度を上げることによるエネルギー効率の向上の実現。
SWITを採用したクリーンルーム内の概念図

プレスリリース「世界初、半導体製造ラインに旋回流誘引型成層空調を採用」»

水使用量の抑制

当社は、2013年度より節水施策を計画し、実施する活動に積極的に取り組んでいます。

製造ラインでは、純水使用後の排水を業界トップレベルの回収率で純水に再生し、また、酸・アルカリ排水とフッ酸排水においても、回収してリサイクル処理を行い、排ガス処理設備で使用する循環水の補給水、その他洗浄水などに使用することにより、水資源の保全に努めています。

そして最新の技術を採用した水処理システムによって適切に処理したキレイな水を工業用水を採水している河川の支流に戻すことで、水資源の循環に努めています。

水源循環の概念図

フッ素回収再生システム

当社は、廃棄物発生抑制のため、3Rの推進に積極的に取り組んでいります。

高濃度のフッ素含有排水処理向けに開発した「攪拌型晶析装置」を導入し、回収した高濃度フッ酸排水から粒子状になった蛍石を生成し、フッ素系溶剤・フッ素中間体化合物として再利用する原材料として売却することで、資源循環する仕組みを実現しています。

フッ素回収再生システム

安心・安全な工場への取り組み

当社は、その前身である富士通セミコンダクター三重工場より、有害物質およびCOD、窒素、リンを含む排水の放流による水域環境の負荷低減を図るため、最新の技術を採用した水処理システムを導入し、適切な運転管理によって、環境負荷低減に努めております。

放流水の水質を監視する方法として、生物多様性保全を目的とした、「めだか」による放流水監視を継続して行っております。「めだか」は、監視を始めた翌年の2012年度より、監視水槽内で世代交代を繰り返しています。

2013年6月にめだかモニター水槽を新設し、繁殖した「めだか」は地域貢献として地元小学校に提供し、理科教材に活用していただいております。

めだかモニタ水槽
めだか

その他の安心・安全な取り組みとして、法規に従った定期環境分析を行い規制順守を確認しています。

また、安全リスク対策として、パートナー会社様との安全推進連絡会を毎年開催しております。引き続き、パートナー会社様とともに、安心・安全な工場として皆様の期待にお応えしてまいります。

化学物質含有規制への取り組み

当社は、各国の製品含有化学物質規制への適切な対応に取り組み、お客様の要求に対して、対象化学物質の不使用証明書を発行する体制を構築しております。

当社では、生態系への悪影響が懸念されるPFOSを含む薬品の使用を2009年度までに完全廃絶を実現しております。

また、PFOSの代替え物質であるPFOAについても、悪影響が懸念されていることから、代替について評価を進めております。

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