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FEOL(Front End of Line : 基板工序、半导体晶元制造工序的前半部分)
6. 源极与漏极
n型MOS与p型MOS领域内会各自形成源极和漏极。通常情况下,晶体管左右对称,所以形状也相同。电源的连接方向决定哪一端是源极或漏极。
p型源极与漏极:p型MOS区域内掺入p型杂质(如硼等)。
n型源极与漏极:n型MOS区域内掺入n型杂质(如磷,砷等)。
n型MOS与p型MOS领域内会各自形成源极和漏极。通常情况下,晶体管左右对称,所以形状也相同。电源的连接方向决定哪一端是源极或漏极。
p型源极与漏极:p型MOS区域内掺入p型杂质(如硼等)。
n型源极与漏极:n型MOS区域内掺入n型杂质(如磷,砷等)。